ZhenAn 氏が説明したように、ターゲットのインストール中に注意すべき注意事項は何ですか?
ターゲットの設置時の最も重要な予防措置は、ターゲットとスパッタリング ガンの冷却ステーブ間の熱接続を確実に良好にすることです。
冷却ステーブやバッキング プレートが大きく反ると、設置中にターゲットに亀裂が入ったり曲がったりする可能性があります。これはバッキングプレートからターゲットへの熱伝導率に大きな影響を与え、スパッタリング中の熱放散を妨げ、最終的にはターゲットに亀裂や脱線を引き起こす可能性があります。
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適切な熱伝導率を確保するために、陰極冷却ステーブとターゲットの間にグラファイト紙の層を配置することができます。スパッタリング ガンの冷却ステーブの平坦度を注意深く検査して確認し、シール リングが常に所定の位置にあることを確認してください。
使用する冷却水の清浄度や、装置の運転中に発生する汚れは陰極冷却水タンクに堆積するため、冷却水の循環がスムーズで入口と出口が詰まっていないことを確認するために、ターゲット材の設置時に陰極冷却水タンクを点検および洗浄する必要があります。
一部のカソード設計ではアノードとのギャップが小さいため、ターゲット材料を取り付ける際には、カソードとアノードの間に接触がなく、導体がないことを確認する必要があります。そうしないと、短絡が発生します。
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