ターゲット材料を選択するための原則は何ですか?

ターゲット マテリアルは、高速エネルギー粒子が衝突するターゲット マテリアルです。-これらは高エネルギーレーザー兵器に使用されます。-異なるパワー密度、異なる出力波形、および異なる波長のレーザーが異なるターゲット物質と相互作用すると、異なる殺傷効果と破壊効果が生成されます。

対象材料選定の考え方

(1) ターゲット材料の組成 フィルムは良好な機械的強度と化学的安定性を備えている必要があります。

（２）反応性スパッタリングに使用する膜材料は、反応ガスと化合物膜を形成しやすいものであること。

(3) ターゲット材と基板はしっかりと組み立てられている必要があります。それ以外の場合は、基板との接着強度が良好なフィルム材料を使用する必要があります。まず、必要なフィルム層を準備する前に、ベースフィルムをスパッタリングする必要があります。

（４）膜性能の要求を満たすことを前提として、スパッタ膜への熱応力の影響を小さくするために、ターゲット材と基板との熱膨張係数の差は小さいほど良い。

(5) フィルムの用途や性能の要求に応じて、使用されるターゲット材料は、純度、不純物含有量、成分の均一性、機械的特性などの要求、加工精度などの技術的要求を満たしている必要があります。