回転タンタルターゲット

タンタルターゲットは、その形状によって、円形、長方形、三角形の平面ターゲットと回転ターゲットの 2 種類に分けられます。
タンタルターゲットは、ターゲットブランクの製造工程によって、溶融鋳造鍛造ターゲットと粉末成形ターゲットの 2 種類に分けられます。ターゲット材料は、スパッタリングされたフィルムの物理的および機械的特性を制限し、コーティング品質に影響を与えます。
タンタルターゲットは、主に以下の要件を満たす必要があります。①不純物含有量が少なく、純度が高い。ターゲット材料の純度は、膜の組成に直接影響します。②均一な内部構造。粒径やテクスチャなどの内部構造は、スパッタリング速度や膜厚分布に影響します。③均一な組成と組織構造。均一なターゲット組成と組織は、安定したコーティング品質を保証する重要なものです。

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