ジルコニウムターゲット製品の基本的な特性の紹介
ジルコニウムターゲット融点が高く、ジルコニウムの融点は1852度と同じです。これにより、ジルコニウムターゲットは高温環境で溶けたり変形したりするのが容易ではありません。製品の品質とプロセスの安定性。
ジルコニウム標的は、良好な化学物質の安定性を示し、さまざまな化学物質の侵食に抵抗することができます。この機能により、さまざまな化学環境で安定した性能を維持できます。
腐食抵抗の観点から、ジルコニウムターゲットは、酸性および塩スプレー環境で優れた腐食抵抗を示し、材料のサービス寿命を延長し、さまざまな腐食性環境で優れた性能を維持できるようにします。
ジルコニウムターゲットには高密度と硬度があります。ジルコニウムの密度は約6.51 g/cm³であり、これは良好な機械的安定性を提供します。同時に、ジルコニウムは硬度が良好で、摩耗や機械的影響に抵抗することができます。これにより、ジルコニウムの標的は準備プロセス中に大きな圧力と摩擦に耐えることができ、ターゲットの完全性と安定性を維持します。
さらに、ジルコニウムの標的は、約22 w/m・Kの熱伝導率も高いため、使用中に熱を効果的に消散させ、過熱のためにターゲットが損傷しないようにし、スパッタリングコーティングの効率と品質を向上させます。
ジルコニウムターゲット製品の主なパラメーター
| 形 | ディスク/長方形/チューブ |
| ボンディング | ボンディング/ボンディング |
| シンボル | ZR |
| 純度 | 99% |
高純度ジルコニウムターゲット製品画像ディスプレイ
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