タングステンターゲットの製品特長
タングステンターゲットタングステンスパッタリングターゲットとも呼ばれる、純粋なタングステン粉末を原料として作られた製品です。銀白色の外観を持ち、その優れた物理的・化学的特性により、さまざまな分野で愛用されています。
タングステンスパッタリングターゲットの特徴
1) 高純度。焼結および鍛造後のターゲットの純度は、通常 99.95% 以上になります。一般に、他の条件下では、ターゲットの純度が高いほど、コーティングの電気的特性が向上し、対応する回路が短絡したり損傷したりする可能性が低くなります。
2) 費用は比較的リーズナブルです。粉末冶金による直接プレスと成形の速度が速くなり、生産サイクルを効果的に短縮し、コストを削減できます。
3) 高密度。焼結および鍛造後のターゲットの密度は 19.1g/cm3 以上に達することがあります。
4) 高いたわみ力。超微細な純粋なタングステン粉末を使用して製造された完成したターゲットの組成と組織構造は、比較的均一で一貫しています。
5) 熱化学的安定性に優れ、体積の膨張収縮や他の物質との化学反応などが起こりにくい。
6) 抵抗値が低いため、回路に不要なエネルギーが発生しません。
タングステンターゲットの基本仕様と純度パラメータ
|
名前 |
分子式 | 仕様 |
サイズ |
相対密度 | 粒度 | 不良率 | |
| タングステンターゲット |
W |
4N(99.99%) |
インチ |
mm |
99%以上 |
≯50µm |
0 |
|
5N(99.999%) |
D(2,3,4,6,8,10,12) H(0.25,0.5,0.75) |
直径50~350 厚さ6~25 |
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| タングステンチタンターゲット |
WTi10 WTi20 |
4N(99.99%) |
99%以上 |
≯50µm |
0 |
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