タングステンターゲットの主な製造工程
タングステン ターゲットの製造プロセスには通常、次の手順が含まれます。
事前脱ガス: タングステン粉末を真空熱処理炉に入れて事前脱ガスし、水素を導入して加熱を続けて脱ガスします。
一次焼結:脱気したタングステン粉末を真空ホットプレスにより一次焼結します。
二次焼結: 一次焼結後の製品に熱間静水圧プレスによる二次焼結を施します。
研削加工:二次焼結後の製品を機械加工により表面研削し、完成品を得る。
タングステンターゲットの基本パラメータ
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学年 |
||||
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AMS-T-21014 |
クラス1 |
クラス1 |
クラス2 |
クラス2 |
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構成 |
90W7Ni3Fe |
91W6Ni3Fe |
92W5Ni3Fe |
93W4Ni3Fe |
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密度 (g/cm3) |
17.1±0.15 |
17.25±0.15 |
17.50±0.15 |
17.60±0.15 |
|
熱処理 |
焼結 |
焼結 |
焼結 |
焼結 |
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引張強さ(MPa) |
900-1000 |
900-1000 |
900-1100 |
900-1100 |
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伸長 (%) |
18-29 |
17-27 |
16-26 |
16-24 |
|
硬度(HRC) |
24-28 |
25-29 |
25-29 |
26-30 |
タングステンターゲットの画像表示


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(4) 製造工程全体にわたって検査を実施する。
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