純粋な長方形タングステン スパッタリング ターゲット

1. 純度:

の純粋さ タングステンターゲット 主な考慮事項です。高純度のタングステンターゲットは、より優れた物理的および化学的特性を持ち、さまざまな高精度アプリケーションの要件をよりよく満たすことができます。

‌2.密度と格子構造:

密度と格子構造は、ターゲットの機械的特性と熱的特性に直接影響します。高密度とは、ターゲットの構造安定性が高く、X 線生成能力が優れていることを意味します。

3. ターゲットの種類と目的の一致:

特定の目的に応じて、適切なタングステンターゲットの種類を選択してください。たとえば、平坦なタングステン ターゲットと回転タングステン ターゲットは、さまざまなコーティング装置やアプリケーション シナリオに適しています。

4。不純物の内容と品質管理：

タングステンターゲットの不純物含有量は、薄膜の品質に影響を与える重要な要素です。したがって、購入する際には、ターゲット内の個々の元素の不純物含有量に注意を払い、特定の用途の要件を満たしていることを確認する必要があります。

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