ZhenAn さん、ターゲット材料の粒子試験に一般的に使用される基本的な方法は何ですか?

ZhenAn さん、ターゲット材料の粒子検査に一般的に使用される基本的な方法は何ですか?

通常、ターゲット材料は多結晶であり、粒径はミクロンからミリメートルの範囲にあります。粒子が細かくなるほど粒界領域が大きくなり、性能への影響が大きくなります。同じターゲット材料の場合、粒子の細かいターゲットは粒子の粗いターゲットよりもスパッタリング速度が速くなります。粒子サイズのばらつきが小さい（均一な分布）ターゲットは、スパッタリングされた膜の厚さ分布がより均一になります。研究の結果、チタンターゲットの粒径を100μm以下に制御し、粒径のばらつきを20%以内に抑えると、得られるスパッタリング膜の品質を向上できることが判明した。大幅な改善。

ターゲット粒度テストのための 3 つの基本的な方法
1. 比較方法: 比較方法では、粒子や切片を数える必要はありません。比較法による粒度評価は、標準的な一連の評価表と比較した場合、一般にある程度の誤差（±0.5レベル）が生じます。評価値の再現性・再現性は通常±1レベルです。

2. 面積法: 面積法では、既知の面積内の粒子の数を数え、単位面積あたりの粒子の数を使用して粒子サイズ グレードを決定します。この方法の精度は計算された粒子サイズの関数であり、適切に計数すれば、±0.25 レベルの精度を達成できます。面積法の結果には偏りがなく、再現性は ±0.5 レベル未満です。面積法を使用して粒子サイズを決定する鍵は、粒界を明確に区別する粒子を数えることにあります。

3. 切片法: 切片数は、既知の長さのテスト ライン セグメント (またはグリッド) が粒界と交差する切片の数をカウントすることによって計算されます。粒度グレードは、単位長さあたりの切片の数を使用して決定されます。切片法の精度は、計算された切片の数の関数であり、効果的な統計分析によって達成できます。 ±0.25レベルの精度。インターセプト法の測定結果はバイアス-がなく、再現性と再現性は±0.5レベル未満です。同じレベルの精度の場合、インターセプト法はインターセプト ポイントやインターセプト番号を正確にマークする必要がないため、エリア法より高速です。