タングステンターゲットの重要な特性は何ですか？

高融点：タングステンは、純粋な金属の中で最も高い3422度（6192度F）の非常に高い融点を持っています。このプロパティにより、特定のスパッタリングプロセスなど、高温アプリケーションに適しています。

優れた柔軟性：融点が高いにもかかわらず、タングステンは非常に柔軟であり、さまざまなアプリケーションでさまざまな形状に形成できます。

膨張係数が低い：タングステンの熱膨張係数は低いため、温度変化には寸法がほとんど変化しません。このプロパティは、使用されるコンポーネントの精度と安定性を維持するために重要です。

優れた熱安定性：タングステンターゲットは、極端な熱応力の下で構造の完全性を維持します。これにより、パフォーマンスの大幅な劣化なしにプロセス中に発生した熱に耐えることができるため、高出力または長期のスパッタリングアプリケーションに最適です。

低蒸気圧：高温では、タングステンの蒸気圧は非常に低くなります。これにより、スパッタリングプロセスが一貫して安定したままであり、操作中のターゲット材料の損失を最小限に抑えることができます。