タンタルターゲット材料は、主にさまざまな薄膜堆積プロセスで使用されている高純度のタンタル金属またはタンタル合金で作られた材料です。
タンタルターゲット材料は、優れた耐食性、高融点、生体適合性で知られています。その物理的特性には、高融点 (約 3017 度)、高沸点、高密度、高硬度が含まれており、タンタル ターゲット材料は高品質の薄膜の形成において独特の利点を持っています。
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Jan 22, 2025
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