粉末冶金法：高純度モリブデン粉末（平均粒子サイズ5-10μm）が原材料として使用され、モリブデン粉末は希望の形状に押し付けられ、高温で焼結して密にします。この方法は、複雑な形状のターゲットと取得した密度を調製するのに適していますモリブデンターゲット理論的価値の99％以上に達することができます。
製錬方法：高純度のモリブデン原料は、真空誘導溶融炉（VIM）およびその他の装備を使用して溶け、粒子の均一性を持つモリブデンインゴットなど、粒子の均一性を持つモリブデンインゴットなど、粒子の均一性を30％向上させることができます。
機械加工：焼結または製錬モリブデンの標的ブランクの切断、研磨、形成などの精密機械加工は、{0}}。
表面処理：電解研磨およびその他のプロセスは、通常、モリブデン標的材料の表面を処理するために使用され、0以下の表面粗さRAを2μm以下にして、高精度のスパッタリングコーティングの要件を満たします。
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