ジルコニウムターゲット主にさまざまな薄膜を準備するために使用され、半導体、オプトエレクトロニクス、化学、生命科学、航空宇宙で広く使用されています。
半導体場では、ジルコニウムターゲットを使用して、MOSFETデバイスのゲート電極と金属相互接続層を準備することができます。これは、電子デバイスで重要な役割を果たします。
オプトエレクトロニクスフィールドでは、ジルコニウムターゲットを使用して、電子ビーム蒸発器のカソードと光学コーティングを調製できます。これらのコーティングには、優れた光学特性があるだけでなく、機器の安定性と信頼性も向上しています。さらに、ジルコニウムの高融点、低熱膨張係数、良好な腐食抵抗のおかげで、高温保護コーティング、航空宇宙エンジンコンポーネントなどの製造など、ジルコニウムターゲットも航空宇宙分野で使用されます。
ジルコニウムターゲット製品の詳細
（2N）99％ジルコニウム金属スパッタリングターゲット
純粋なジルコニウム金属スパッタリングターゲット