意味:モリブデンターゲットは、粉末冶金、製錬、その他のプロセスを通じて、高純度モリブデン金属(99.95%以上)で作られたスパッタリングターゲットです。物理蒸気堆積(PVD)などのコーティングプロセスでは、モリブデンのソースとして使用して、さまざまな基質材料にモリブデンフィルムを堆積します。
特性
物理的特性:約2623度の高い融点を持ち、非常に高温環境で構造の安定性を維持できます。電子成分の熱放散と電気信号の伝達を助長する良好な電気的および熱伝導率。機械的強度が高く、高温で高負荷に耐えることができます。
化学的性質:室温でのほとんどの酸とアルカリに対して良好な腐食抵抗があります。酸化速度は比較的低く、表面に形成される酸化物層はさらなる酸化を防ぐことができます。
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高純度モリブデンターゲット

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