半導体場:半導体チップ製造のメタレーションプロセスでは、タングステン酸化物フィルムは、主に積分回路拡散バリア層、結合層、および大きな積分回路メモリ電極として使用される広く研究されている機能材料です。タングステンターゲットタングステン酸化物フィルムの重要な基質であり、半導体デバイスでの機能的遷移を実現します。半導体積分回路には、ターゲット材料の純度に関する非常に高い要件があり、通常、ターゲット材料の純度を99.999%を超える必要があります。
タングステンターゲット製品サンプルディスプレイ

タングステンターゲット

タングステンターゲット金属









