半導体および超伝導する飲料分野でのニオビウムターゲットの適用

May 07, 2025

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半導体産業
使用:ニオビウムターゲット銅の拡散を防ぐため、またはコンデンサ電極としてバリア材料(Cu/Nb/Si構造など)として使用されます。
利点:シリコン基質の熱膨張係数を一致させて、熱応力によって引き起こされるフィルムの亀裂を避けます。

超伝導材料
使用:ニオビウムターゲットは、粒子加速器(欧州核研究LHC機関など)の超伝導無線周波数空洞(SRF)を調製するために使用されます。
パフォーマンス要件:ニオビウムターゲットの純度は5n以上でなければならず、粒界の欠陥密度は<10⁶ cm⁻².

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