モリブデンターゲットの性能係数
純度: モリブデン ターゲットの純度は、その性能を示す重要な指標です。一般的に、高純度モリブデン ターゲットの純度は 99.95% 以上に達します。高純度により、薄膜堆積プロセス中の不純物が最小限に抑えられ、最終製品の品質が向上します。
密度: モリブデンの理論密度 (10.22 g/cm³) に近い密度は、高品質のモリブデン ターゲットであることを示します。密度が高いほど、材料内の空隙が少なく、構造が密であることを示しており、これはターゲット材料の耐用年数と安定性を向上させるために重要です。
熱伝導率: モリブデンの熱伝導率は約 138 W/m·K です。高い熱伝導率は、高速コーティング中のターゲットの温度制御に非常に重要であり、ターゲットの過熱や構造的損傷を防ぐのに役立ちます。
熱膨張係数: モリブデンの熱膨張係数は約 4.8×10^-6 / 度と低くなっています。この特性により、モリブデンターゲットは温度変化下でも寸法安定性が良好となり、フィルム堆積プロセスの一貫性と精度を維持するのに役立ちます。
硬度と強度: モリブデンはビッカース硬度が約 2500 HV で、機械的強度が高いです。これにより、モリブデン ターゲットは高速コーティング中の機械的衝撃に耐えることができます。
表面の平坦性と粗さ: 表面の平坦性と粗さも、モリブデン ターゲットの品質を評価するための重要なパラメータです。表面処理が適切であれば、ターゲットの使用中に発生するパーティクルを減らし、堆積した膜の均一性と品質を向上させることができます。
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モリブデンターゲット材の一般的な成分
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純度(%)
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農業
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ニ
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P
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銅
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鉛
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N
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<0.0001
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<0.0005
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<0.001
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<0.0001
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<0.0001
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<0.002
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シ
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マグネシウム
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カナダ
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スン
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バ
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CD
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<0.001
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<0.0001
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<0.001
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<0.0001
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<0.0003
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<0.001
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ナ
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C
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鉄
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O
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H
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モ
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<0.0024
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<0.0033
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<0.0016
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<0.0062
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<0.0006
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>99.97
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