モリブデンターゲット購入時の注意点
モリブデンターゲット主にターゲット基板とコーティングで構成されます。ターゲット基板はコーティングをサポートし、エネルギーを伝達するために使用される材料であり、コーティングは特定の機能を達成するために使用される実際の作業層です。モリブデンターゲットを選択する際は、その構造的特性に注意し、熱安定性と耐食性に優れたターゲット基板、および高密度、高純度のコーティング材料を選択する必要があります。
モリブデンターゲットを選択するときは、複数の要素を考慮する必要があります。 1つ目はサイズです。さまざまな仕様のターゲットが、さまざまなアプリケーション シナリオに適しています。
2つ目は厚みです。ターゲットが薄すぎると損傷しやすくなり、ターゲットが厚すぎると加熱速度が低下し、熱分布の安定性が低下します。
さらに、コーティングの表面品質も重要な考慮事項です。最後に、生産プロセスと品質管理に注意を払い、評判が高く、信頼できる性能を持つモリブデンターゲットブランドを選択する必要があります。
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モリブデンターゲット材料の関連パラメータ
| 名前 | 金属モリブデンスパッタリングターゲット |
| 材料 | モリブデン金属材料 |
| 表面 | 研磨面 |
| 密度 | 10.28g/cm3 |
| 融点 | 2617度 |
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