モリブデンのターゲットを購入する際に注意すべきこと
Purityを購入する際に考慮すべき最初の要因ですモリブデンターゲット。高純度のモリブデンターゲットは、スパッタリングされたフィルムの優れた性能を確保できます。一般に、モリブデンスパッタリングターゲットの純度は少なくとも99.95％である必要がありますが、一部のハイエンドアプリケーションでは、モリブデンスパッタリングターゲットの純度要件が高く、99.99％-99。
desensighは、購入時に無視できない指標でもあります。密度が高いモリブデンターゲットは、スパッタリングコーティング中の粒子飛散を減らし、それによりフィルムの品質を改善することができます。
grain粒のサイズと分布も同様に重要です。通常、小型の穀物ターゲットはより速いスパッタリング速度を持っていますが、穀物サイズの違いが小さいターゲットは、堆積膜の均一な厚さ分布を保証することができます。
clotialstal方向も、スパッタリング速度とフィルムの厚さの均一性にも影響します。したがって、購入するときは、ターゲットの結晶構造に注意を払う必要があります。
Zhenan Molybdenumターゲットの基本パラメーターテーブル
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厚さ |
マックス。幅 |
マックス。長さ |
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.090" |
24" |
110" |
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.125" |
24" |
80" |
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.250" |
24" |
40" |
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.500" |
24" |
24" |
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>.500" |
24" |
丸いモリブデンターゲット製品画像ディスプレイ
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ZhenanについてのFAQ
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