高密度モリターゲット

モリブデンターゲットは、主に次のような多くの特徴を持つ重要な材料です。

高純度: モリブデンターゲットの純度要件は非常に高く、一般に少なくとも 99.95% です。高純度モリブデンターゲットは、スパッタリング膜のより優れた性能を保証します。

高密度: 密度は、モリブデンターゲットの品質を測定するための重要なパラメータの 1 つです。スパッタリング成膜工程では、ターゲットの内部細孔内のガスが急激に放出され、ターゲットに大きな粒子や微粒子が形成され、膜の品質が低下します。したがって、モリブデンスパッタリングターゲットの相対密度は 98% 以上である必要があります。

優れた物性：モリブデンターゲットは高融点、高密度、高硬度という特徴を持っており、高温、高強度の環境下でも安定した構造と性能を維持できます。さらに、モリブデンターゲットは優れた電気伝導性と熱伝導性も備えており、さまざまな産業用途のニーズを満たすことができます。

粒径と結晶化方向の影響: モリブデンスパッタリングターゲットは一般に多結晶構造であり、粒径はミクロンからミリメートルの範囲にあります。微細粒子ターゲットのスパッタリング速度は、粗粒子ターゲットのスパッタリング速度よりも速く、堆積膜の厚さ分布は粒子サイズが小さいターゲットの方がより均一になります。

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