タンタルターゲット製品構造と利点
タンタルターゲット一般に、ターゲットコア、ターゲットロッド、コネクタなどで構成されます。ターゲットコアはタンタル膜が実際に堆積される部分であり、その材料と製造プロセスは膜の性能に直接影響します。ターゲットロッドはターゲットコアとコネクタを接続する部品で、通常は銅またはステンレス鋼で作られます。コネクタは、ターゲットを準備装置に接続するために使用されます。
タンタルターゲットには次の利点があります。
1. 高純度および高密度: タンタルターゲットは高純度および高密度であるため、作製したタンタル膜の高品質および性能を確保できます。
2。良好な熱安定性と腐食抵抗:タンタルターゲットは、優れた熱安定性と腐食抵抗を持ち、高温および高腐食環境で安定して動作する可能性があります。
3. 長寿命と信頼性: タンタルターゲットは長い耐用年数と信頼性を備えており、準備プロセスの安定性と継続性を確保できます。
タンタルスパッタリングターゲット製品パラメータの詳細
| 名前 | 金属タンタルマグネトロンスパッタリングターゲット |
| 純度 | 99.9%-99.995% |
| サイズ | 372x74x6mm、d3x3mm、d6x6mm、d50.8x3mm、2inch、3inch、リクエストとして |
| 沸点 | 54257 |
| 密度 | 16.654g/cm³ |
| 融点 | 2996.0 |
| 形 | 平面ターゲット、回転ターゲット、アークカソード。 |
高純度タンタルターゲット製品画像ディスプレイ


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