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タングステンターゲットとは何ですか?そのアプリケーションは何ですか?
回答:タングステンターゲットは、高純度のタングステンで作られたスパッタリングターゲットです。高密度、高融点、耐食性により、半導体製造、X線管、太陽電池、装飾コーティングおよびその他のフィールドで広く使用されています。特に薄膜堆積技術では、タングステンターゲットはタングステン薄膜を準備するための重要な素材です。
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高品質のタングステンターゲット製品パラメーターテーブル
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名前 |
分子式 | 仕様 |
サイズ |
相対密度 | 穀物サイズ | 欠陥率 | |
| タングステンターゲット |
W |
4N(99.99%) |
インチ |
mm |
99%以上 |
≯50µm |
0 |
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5N(99.999%) |
D(6,8,10,12) H(0.25,0.5,0.75) |
直径150〜350 厚さ6〜25 |
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| タングステンチタンターゲット |
WTI10 WTI20 |
4N(99.99%) |
99%以上 |
≯50µm |
0 |
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4N5(99.995%) |
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