の準備と処理ジルコニウムターゲット原材料の調製、標的ブランクの調製、標的材料への処理、マグネトロンスパッタリング前の処理など、複数のステップを伴います。特定のプロセスは次のとおりです。
原材料の調製：純粋なジルコニウム粉末またはジルコニウム合金粉末を原料として使用すると、通常、純度は99.9％以上である必要があります。合金粉末を使用する場合、設計された割合に従って、ジルコニウム粉末と合金粉末の異なる割合を均等に混合する必要があります。
押し：混合粉末は、プレスマシンによって空白に押し込まれます。一般的に使用される形成方法には、寒冷等吸着プレス（CIP）およびホットアイソスタティックプレス（股関節）が含まれます。寒冷等積分圧力は、低温のプレスに適しており、粉末の直接プレスに適しています。高温の等吸着プレスは、高温プレスに適しており、粉末の毛穴や不純物をさらに排除し、密度を改善できます。
焼結：プレスされた空白は、通常、高温等吸着プレス（股関節）によって高温で焼結されます。焼結温度と時間は、通常1500度を超える特定の材料とプロセスの要件に従って調整する必要があります。焼結プロセス中に、酸化と汚染を避けるために大気を制御する必要があります。
仕上げ：焼結された空白は、ターニング、フライス、粉砕、研削などの機械的処理方法により、ディスクなどの目的のターゲット形状に処理されます。高精度処理装置を使用して、ターゲットの寸法精度と表面の品質を確保します。
表面処理：加工ターゲットは、表面仕上げと均一性を改善するために、研磨や化学研磨などの表面処理にさらされます。超音波洗浄と化学洗浄は、表面の不純物と酸化物を除去するために使用されます。
品質検査：調製されたジルコニウムターゲットは、寸法精度、表面粗さ、化学組成、密度などを含む品質検査にさらされます。X線回折（XRD）、走査型電子顕微鏡（SEM）、および検査のためにその他の機器を使用します。
ジルコニウムターゲット製品の詳細画像ディスプレイ
